iselROBOTIK

Dynamisches und präzises Waferhandling

Technik auf höchstem Niveau

Prozessanlagen in Reinräumen müssen hohe Anforderungen an Qualität und Beständigkeit erfüllen. Gleichzeitig sollten sie wirtschaftlich arbeiten und gut handhabbar sein. Die Roboter von iselROBOTIK sind individuell auf das Anforderungsprofil für die Handhabung von Wafern und Substraten in der Halbleiterindustrie zugeschnitten. Seit über zehn Jahren sind diese Waferhandler mit integrierten Harmonic Drive® Getrieben in vielen Waferbearbeitungszellen, Sortern und Inspektionsanlagen aus europäischer Produktion weltweit erfolgreich im Einsatz.

Kundennutzen:

  • Optimale konstruktive Lösung
  • Einfache Einbindung
  • Einfache Lastanbindung
  • Geringer Fertigungs- und Montageaufwand
  • Reduzierter Materialeinsatz
  • Höhere Energieeffizienz
  • Niedrigere Fertigungskosten
  • Kleiner Maschinenfootprint
  • Einfache konstruktive Lösung
  • Erhöhte Betriebssicherheit

Merkmale:

  • Integriertes, hochbelastbares Abtriebslager
  • Einfach individualisierbar
  • Kompakte, leichte Bauform
  • Hervorragende, lebenslange Präzision
  • Große Hohlwelle
iselROBOTIK

HFUS

Kompakt mit größter Hohlwelle

Die Units der Baureihe HFUS sind erhältlich in neun Baugrößen mit den Untersetzungen 30, 50, 80, 100, 120 und 160 bei einem wiederholbaren Spitzendrehmoment zwischen 9 und 1840 Nm.

Zum Produkt

Kippsteifes Abtriebslager für eine
platzsparende Konstruktion

Das kippsteife Abtriebslager der eingesetzten Harmonic Drive® Units der Baureihe HFUS-2UH ermöglicht die direkte Anbringung hoher Nutzlasten ohne weitere Abstützung und erlaubt so eine einfache und platzsparende Konstruktion. Die Units HFUS-2UH sind vollständig gedichtet mit großem Hohlwellendurchmesser zur Durchführung von Versorgungsleitungen, Wellen oder Kabel für weiterführende Antriebssysteme.